小型扫描电镜是将光学显微镜技术、光电转换技术、计算机图像处理技术结合在一起而开发研制成的高科技产品，可以在计算机上很方便地观察金相图像，从而对金相图谱进行分析。主要用于鉴定和分析金属内部结构组织，是金属学研究金相的重要仪器，工业部门鉴定产品质量的关键设备。
数字化是提升测量能力、满足现代生产要求的有效手段。因此国内外许多研究人员已经对本产品进行了数字化，用CCD采集图像，然后进行图像分析与处理。目前商品化的小型扫描电镜多以二维测量分析为主，但实际应用中对同时获得三维信息也有很多需求。其本身的结构具有三维运动功能，为实现三维测量提供了必要条件。
小型扫描电镜暗视野的原理是根据光学上的丁道尔现象，微尘在强光直射通过的情况下，人眼不能观察，这是因为强光绕射造成的。若把光线斜射它，由于光的反射，微粒似乎增大了体积，为人眼可见。
暗视野观察所需要的特殊附件是暗视野聚光镜。它的特点是不让光束由下至上的通过被检物体，而是将光线改变途径，使其斜射向被检物体，使照明光线不直接进入物镜，利用被检物体表面反射或衍射光形成的明亮图象。其分辨率远高于明视野观察，高达0.02—0.004。它的特点和明视野不同，不直接观察到照明的光线，而观察到的是被检物体反射或衍射的光线。因此，视场成为黑暗的背景，而被检物体则呈现明亮的象。
小型扫描电镜
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